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0.6nm精度！国产“羲之”光刻机出炉！

2025-08-14 18:53

羲之，中国的“纳米神笔”

8月14日消息，据《杭州日报》报道，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”，进入应用测试阶段，并正式投入市场。

从报道内容来看，该设备是由浙大余杭量子研究院依托浙江省重点实验室自主研发，其精度高达0．6纳米（相当于人类头发丝直径的十万分之一）、线宽8纳米，性能可比肩国际主流设备。

杭州日报如此表示道：量子芯片研发，从此有了“中国刻刀”。

先从芯片行业角度来看，电子束光刻机，作为一种利用高能电子束在硅基材料上直接绘制纳米级电路的设备，是目前研发量子芯片和新型半导体的核心装备。

而国产“羲之”光刻机的的独特优势在于，其无需掩膜版（传统光刻工艺中，电路模板是不可或缺的），可直接通过电子束灵活“书写”电路，研发团队比喻其为“能在头发丝上雕刻整座城市地图的纳米神笔”。

芯片研发初期，需要反复调试需求以达到理想中的电路特性，而“羲之”无需掩膜版的特性让调试变得更为简单，从而大幅缩短设计周期。

另外，该设备除了投入实际测试，也正式投入市场，意味其并非“纸上谈芯”，而是切切实实从背后的实验室走向了商业化的台前。

其命名角也颇具中国风。“羲之”，顾名思义，灵感源自我国东晋时期最出名的书法家，王羲之。

王羲之的书法字向来以“刚柔并济”“结构多变”“章法自然”出名，既有气势磅礴的大字，也有精致灵动的小字，字与字、行与行之间错落有致的同时，却能行气贯通，浑然天成。

而这和“羲之”的“精密”“灵巧”如出一辙。

从整个芯片产业链角度来看，此前，中国科学技术大学、之江实验室等顶尖机构因国际出口管制无法采购同类设备，严重制约国内量子技术研发。

“羲之”的商用化填补了这一空白，且定价低于国际市场均价。目前，已有多家企业和科研机构开始接洽。

羲之的出现，打破此类高端装备长期受国际出口管制的困局，用中国的“纳米神笔”，为量子芯片，刻下中国印记，推动国产高端芯片研发链条的自主可控。

近期，像“羲之”一样，越来越多半导体设备迈出国产化、商用化，中国高端芯片研发的“工具困局”，也正迎来一个又一个的破冰时刻。

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