在半导体制造领域，纳米级精度、高动态响应和极致稳定性是决定工艺质量的关键。Triamec伺服驱动器凭借其100kHz闭环控制频率、亚纳米级静态噪声控制以及先进的MIMO龙门控制算法，成为高端半导体设备的理想选择。

核心技术优势

100kHz超高控制频率

• 电流环与位置环双闭环运行，刷新率高达100kHz，显著缩短整定时间

• 适用于高动态应用（如快速刀具伺服系统）

• 支持实时C#应用程序嵌入，兼容EtherCAT/Trial-link总线

亚纳米级精度与极低噪声

• 在17.4kHz测量带宽下，1σ静止噪音低至下午140

• 3σ位置偏差可控制在9nm以内（实测对比数据）

• 采用高阶无源/有源滤波技术抑制共振与电磁干扰

自适应控制与共振抑制

• 通过实时自适应算法主动补偿空气轴承的弱阻尼特性

• 在金刚石车床应用中，以100m/s²加速度运行，峰峰值误差仅±100nm

典型应用场景

空气轴承龙门系统

挑战：

• 空气轴承因气体可压缩性导致刚度低、阻尼弱

• 传统控制器易引发振荡

Triamec方案：

• 分布式MIMO龙门控制，主从驱动器通过高速通信同步

• 直接耦合负载实现零死区调节

• 支持负载端双反馈（电机编码器+直线光栅）

价值：

• 适用于晶圆搬运、光刻机XY平台

• 最短的建立时间与最佳的噪声抑制相结合，可实现稳定、稳健的工艺。

客户价值总结

• 精度跃升：从20nm至9nm的3σ位置偏差优化，提升良率

• 动态性能：100kHz控制 + jerk规划，缩短生产节拍

• 稳定性：空气轴承主动抑振，减少维护成本

• 集成灵活性：驱控一体、C#实时脚本，快速适配工艺变更