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新松大气机械手SRBJ1A-AD4401

产品型号SRBJ1A-AD4401

厂商性质生产商

公司名称沈阳新松机器人自动化股份有限公司

地址辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号

收藏产品

联系人：刘晓菲 024-31699000

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企业信息

沈阳新松机器人自动化股份有限公司

普通会员第20年

公司类型：生产商

主运营：工业机器人、物流与仓储自动化、大型自动化生产线...

所在地区：沈阳市

注册时间：2006-03-30

产品新闻

技术文章

产品介绍

耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高速传片效率和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。

参数

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload	名称name	晶圆wafer
	直径diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度数DOF		4
手数量Number of Arm		2
最大回转直径Maximum Swing diameter		520mm
运动范围 Moving Range	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	450mm
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	350°
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	R760mm
最大速度 Maximum Moving Speed	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	375mm/s
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	360°
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	1100mm/s
重复定位精度 Repeatability	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
洁净度Clean Class		CLASS 1
主机重量Body Weight		70 kg
电源Power Supply		VAC 220V±10%

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