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美国Siargo 气体质量流量传感器 - FS1015E

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传感器灵敏度高，有很小的始动流量
传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高
传感器的零点稳定度

产品型号：: FS1015E

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产品介绍

美国Siargo 气体质量流量传感器 FS1015E系列描述：

FS1015E系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围大到150SLPM，ISO 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。

美国Siargo 气体质量流量传感器 FS1015E系列特点：

传感器灵敏度高，有很小的始动流量
传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量

在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高

传感器的零点稳定度

高全量程高稳定性

全量程高精确度和优良的重复性

低功耗、低压损

响应速度快

美国Siargo 气体质量流量传感器 FS1015E系列参数：

参数	数值	单位
流量范围	0~100/0~150	SLPM
量程比 100:1
精度	±(2.0+0.5FS)	%
重复性	0.5+0.15FS	%
零点输出漂移	±30	mV
输出漂移	±0.12	%/℃
响应时间	8	ms
工作电源	5±5%	VDC
输出方式	线性：模拟电压0.5~4.5VDC/I²C
zui大流量压损	1300	Pa
zui大工作压力	≤0.2	MPa
工作温度	-10~+55	℃
储存温度	-20~+65	℃
工作湿度	<95%RH(无结冰、无凝露)
电气接口²	5针插座，南士CD R-5
机械接口	ISO 15 mm或1/2MNPT
校准方式	空气(20℃,101.325kPa)
重量	21.5
zui大允许流量	300	SLPM
zui大允许流量变化	40	SLPM/s
1,以上参数在为20℃,101.325kPa下测得；
2,配线SN5-50的插头为南士CDH-5。