Precession Elephant III（简称PEIII）多轴扫描振镜，是Novanta专为精密微加工研发的重量级产品，非常适合各种复杂几何形状和锥度的钻孔需求，能达到非常出色的钻孔精度和超快的加工速度，最小光斑尺寸＜ 8 μm，可以应对最为极致苛刻的细节要求，是超高精度钻孔加工的首选产品，比如探针卡、喷油嘴、喷丝板等等。而且这款产品多波长兼容性强、集成灵活度高，还配有内置的对准相机，嵌入到系统中集成速度也非常快速。

应用示例

内燃机喷油嘴加工

喷油嘴是发动机燃油喷射系统的核心部件，燃油经过喷嘴高速喷出，形成雾状，利于充分燃烧，而其中喷孔的几何精度、内部光滑度、边缘精细有无毛孔等因素不仅会影响雾化均匀性，长期下来也会影响发动机整体的性能和寿命。而喷油嘴常规又分为汽油喷油嘴、柴油喷油嘴和天然气喷油嘴等。

PEIII加工优势：最高的纵横比设计，同时保证超高的表面质量

汽油喷油嘴加工效果

典型加工参数：

●材料厚度 0．02－0．4 mm

●孔径 25－300 μm

●典型微孔加工时间 1．5 s

●负锥度全角度可达 16°

●孔纵横比可达 12：1

柴油机喷油嘴加工效果

典型加工参数：

●材料厚度 0．6－1．5 mm

●孔径 70－300 μm

●负锥度全角可达 16°

●孔纵横比可达 12：1

●直径重复率 ＜0．4 ％

●孔径精度＜ 1 μm

●孔圆度 ＞ 95％

●孔位置精度 ＜ 1 μm

●壁面质量 Ra ＜ 0．1 μm

探针卡加工

探针卡是半导体制造中用于晶圆测试的关键组件，主要用于芯片封装前测量芯片的电气性能，在进行封装工程前挑选出有缺陷的芯片， 是晶圆制造过程中对制造成本有重大影响的重要工艺。探针卡上的微孔数量众多，尺寸微小，精度要求极高。

PEIII加工优势：最小光斑尺寸＜8 μm，方孔设计时可获得最小角半径和最大的纵横比。

探针卡加工效果

典型加工条件及参数：

●用于晶圆上的微芯片检测，氮化硅陶瓷基材加工

●根据不同测试策略加工不同尺寸的微孔

●处理后只需超声波清洗

●满足高端样品处理需求

●典型材料厚度 0．2－0．5 mm

●典型孔加工时间 ＜ 1．5 s

●方孔边长 30－60 μm

●边角半径 ＜ 4．0 μm

●微孔纵横比可达 15：1

插针微切割

此铜针是直接装配在探针卡上的用于测试的插针，是连接芯片／晶圆与测试设备进行信号传输的核心零部件，尺寸要求达到微米级别，表面光滑度高，作为高端精密电子元器件，制造加工技术要求非常高。

PEIII加工优势：保障最佳表面质量的情况下进行零锥度切削

插针微切割效果

典型加工参数：

●铜针横截面小至35x35μm

●尺寸公差＜1μm

●壁面质量Ra ＜ 0．1μm

喷丝板加工

喷丝板是纺织行业化学纤维制造过程中用于形成纤维丝的精密组件，表面分布众多直径微米级别的精细孔洞，在纺丝时，纺丝溶液或熔体从这些微孔中通过，以细流状态挤入凝固浴或空气中，即凝固或冷却成为纤维。喷丝板在化纤、塑料、橡胶、食品、造纸等行业中均有广泛应用。

PEIII加工优势：保障最佳表面质量的情况下进行零锥度激光铣削

喷丝板加工效果

典型加工条件及参数：

●复杂形状和三维结构

●尺寸介于100和300μm之间

●加工材料可包括不锈钢、高温合金、陶瓷等

PEIII是Novanta研发团队在原来PEII基础上进一步升级，采用更高端的光学器件、涂层工艺、数字伺服驱动等，保障更高的钻孔频率和更高的脉冲能量，钻孔效率整体提升约50％，还可以提供完全根据客户设备定制的子系统，可以达到开箱即用。